真空鍍膜冷水機
2021-09-25

真空鍍膜冷水機日常如何應用的。真空鍍膜的工作原理是薄膜在高溫下在工件表面蒸發結晶。因為空氣會對蒸發的薄膜分子產生阻力,產生碰撞,使晶體粗糙暗淡,所以必須在高真空下才能使晶體細膩、光亮。如果真空度不高,晶體就會失去光澤,結合強度也很差。

一般來說,真空鍍膜方法可以將粗糙度控制在可見光波長的十分之一以內。另外,如果薄膜中化合物的原子組成比例過小,也會影響其均勻性。因此,如果在鍍膜過程中存在缺陷,則涂層的化學成分將達不到預期的要求。晶格有序的均勻性與單晶、多晶或非晶薄膜有關。

早期的真空鍍膜依賴蒸發器的自然散射,工作效率低,光澤度差。現在添加中頻磁控濺射靶材。磁控管靶材在電場作用下加速膜體蒸發分子對靶材的轟擊,濺射出大量靶原子,中性靶原子(或分子)沉積在基片上形成薄膜,解決了以往自然蒸發無法處理的鍍膜種類,如鍍鈦、鍍鋯等。

中頻設備頻率高,電流大,必須加冷卻水。當電流在導體中流動時,會產生趨膚效應,電荷會在導體表面積聚,使導體發熱,故采用介孔管作為導體,加水冷卻。

(主要是圓柱靶) 為什么一定要用水冷卻? 磁控濺射靶在發射時會產生高溫,使射擊槍變形,所以它有一個水套來冷卻射擊槍。同時,磁控濺射被認為是鍍膜技術最杰出的成就之一,還有一個重要原因,具有濺射速率高、基板溫升低、膜-基板附著力好等特點。

從對非均勻電磁場中電子運動的更深入研究,磁控濺射更一般的原理和磁場的橫向不均勻性和對稱性是產生磁約束的根本原因。磁控濺射可以說是鍍膜技術最杰出的成就之一,濺射速率高,基板溫升低,膜基結合力好,器件性能穩定。如果選用一臺合適的真空鍍膜冷水機,應該了解一些基本工作原理和信息。


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